微表面加工方式

微结构表面可以用以下方式加工：金刚石精密车削、激光束加工、模压加工、蚀刻技术、LIGA 技术、磨料喷射加工、微细电火花加工。近年来许多论文报道能够用激光束加工微结构表面，但是其加工效率和制造精度低、加工范围小；YAG 激光车削也许能在陶瓷上加工微槽阵列，但是这些槽的表面非常粗糙而且形状还不规则；蚀刻技术加工微形阵列的均匀性尚未可控，微结构阵列只能大量、随机地分布在微米级空间表面；LIGA 技术虽然能够实现微结构的精密加工，但其过于昂贵的加工成本使得一般单位无法利用该技术加工微结构。利用成形磨削的方法，用特定形状的砂轮通过控制磨削过程可以加工出满足要求的微结构表面。该方法最早是在 1989 年提出来的，这种微磨削加工微结构表面的方法不仅成本低，而且效率还非常高。1994 年，利用这种成形磨削方法成功加工出气体润滑的陶瓷制动盘。因而，在严格保证光学元件表面质量的前提下对硬脆材料进行加工，微磨削技术体现出了其他加工方法难以比拟的优势，例如微磨削加工技术可加工的零件范围很广，如时钟谐振器、发动机和轴承的陶瓷零件、锗非球面光学镜片和光纤光栅等元件。

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