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超精密研磨盘如何保证其平整度
发布日期：2016-09-07 11:32:49
作为一种常用的超精密加工方法,超精密平面研磨加工技术被用来获得极高的零件面型精度(如平面度、平行度等)和消除加工变质层。超精密平面研磨通常包括研磨盘、研磨液、磨粒、工件等四个部分,在研磨加工中,研磨盘的表面形貌能在一定程度上“复制”到工件表面上,同时,其面型精度对被加工件质量有重要的影响。
为获得较好的研磨效果,国内外许多学者对研磨盘材料的选择、研磨盘结构的设计和研磨盘表面的修整等方面作了深入的研究。在研磨加工中,必须通过在线修整,来保持研磨盘的平面度。可以通过修正环的旋转来实时连续修正研磨盘的平面度,或者采用车削修整的方式对研磨盘进行修整。对研磨盘材料而言,既要求其有较高的硬度,防止承受加载压力时自身的变形过大,同时,又要求其能够保证不受到任何来自磨盘的刮伤或划痕,并具有比较高的研磨效率,所以,研磨盘必须又有良好的“嵌砂”能力。综合这两种要求,研磨盘材料一般选用铸铁和铜。不同磨料和不同材料磨盘的研磨效果是不同的,应寻求对应于不同工件的最佳磨料及磨盘。
